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真空:一般指在一個大氣壓下的氣體狀態(tài)
Emsp;函數(shù):
EMP;1和真空吸盤容器受大氣壓的影響,壓力由容器內(nèi)外的壓差決定。
在EMP;2和真空中,氣體很薄,單位體積的分子數(shù)量很小,分子之間或與其他粒子(如電子、離子)之間的碰撞次數(shù)很小。
真空科技
真空技術(shù):真空采集、測量、泄漏檢測、真空系統(tǒng)和元件
真空熔煉:鑄造、熱處理、焊接、單晶制備
等離子體科學(xué)技術(shù):磁控濺射、離子鍍、CVD、等離子體顯示
薄膜的科學(xué)技術(shù):蒸發(fā)鍍、離子鍍、CVD、濺射涂層
電子材料加工技術(shù):電子器件、半導(dǎo)體器件、光電材料、外延、掩模和刻蝕
表面科學(xué):固體表面電子結(jié)構(gòu),原子結(jié)構(gòu),隧道顯微鏡,表面性能測試
應(yīng)用表面科學(xué):紫外光譜、x射線光電子能譜等表面分析儀器
納米科技:材料制備、性能測試與分析、應(yīng)用
真空度單位與真空區(qū)劃分
真空
Emsp;是衡量氣體稀薄程度的客觀指標(biāo)。最直接的物理量應(yīng)該是單位體積的分子數(shù)。由于歷史原因,真空度較高。
低常用氣體壓力、低壓、高真空來表示,反之,是低真空。
氣體壓力:作用于單位區(qū)域墻壁上的氣體壓力。單位:DANE/cm2和牛頓/m2。爸。
真空測量:
在EMP的早期階段,用Hg柱高度測量壓力。1大氣壓=760 mmHg后發(fā)現(xiàn)Hg有7種不同密度的同位素,因此同一汞柱顯示
來自emsp;的壓力并不是唯一的。第十屆國際計量大會決定用Pa定義標(biāo)準(zhǔn)氣壓,規(guī)定:1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(Atm)=1.013×105 Pa,1≤760大氣壓稱為1拖曳(Torr),1托架,幾乎等于1 mmHg,#p#分頁標(biāo)題#e#
emsp;exp;1 psi-6895pa:
真空區(qū)劃分:
真空區(qū)域的劃分沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn),國內(nèi)的劃分也不統(tǒng)一,總評分為
Emsp;是5個區(qū)域:
粗真空760≤
低真空10≤
高真空
超高真空
真空技術(shù)的應(yīng)用
Emsp;廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究的各個領(lǐng)域。
例如:壓差制真空吸盤、真空進(jìn)料;電子管、離子加速器(少碰撞);冶金工業(yè):真空冶煉、脫氣、精煉、熱處理、稀有金屬、半導(dǎo)體材料制備;食品工業(yè)、真空保存、包裝、冷凍干燥;活性物質(zhì)的抗氧化(延長壽命、燈泡);表面物理(清潔表面的全實驗研究
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